Loftsíur eru nauðsynlegar fyrir hálfleiðaraframleiðsluiðnaðinn

Verksmiðjur sem framleiða hálfleiðara oblátur þurfa hreint umhverfi í ISO Class 1–3 vegna þess að jafnvel ein ögn getur skemmt flís. Sérsniðnar skiljur HEPA loftsíur eru settar upp í diskaframleiðslueiningum og lofteiningum, sem þjóna eftirfarandi hlutverkum:

1. Viðhalda lagskiptu loftstreymi á steinþrykk og ætingarsvæðum
2. Koma í veg fyrir að agnir á nanóskala setjist á oblátur
3. Tryggja stöðuga ávöxtun meðan á steinþrykkferlinu stendur

Niðurstöður sýna:Frá oblátaframleiðslu til lokaprófunar,HEPA deep pleat loftsíur birgjagegna mikilvægu hlutverki í hálfleiðaraframleiðslu með því að tryggja ofur-hreint loftgæði, stöðugt lagskipt loftflæði, hámarksafköst flísa og samræmi við ISO hreinherbergisstaðla.

Til viðbótar við HEPA loftsíurnar með djúpum plísum, innleiða hálfleiðaraskífuframleiðendur einnig fjöl-síunarkerfi til að auka enn frekar hreinleika hreinherbergisumhverfisins. Þetta kerfi inniheldur venjulega:

1. For-síur til að fanga stærri agnir áður en þær ná í HEPA síurnar og lengja þar með líftíma dýrari HEPA síanna.
2. Virkar kolsíur til að fjarlægja rokgjörn lífræn efnasambönd (VOC) og önnur loftkennd aðskotaefni sem gætu haft áhrif á heilleika oblátanna.
3. Ofur-síur með lítilli penetration air (ULPA) á mikilvægustu svæðum, sem geta fjarlægt agnir allt að 0,1 míkron með skilvirkni upp á 99,999%.

Til að viðhalda ströngum umhverfisskilyrðum notar aðstöðu til að framleiða oblátur einnig strangar samskiptareglur fyrir starfsfólk og efnisflutninga. Starfsfólk hreinsherbergja verður að klæðast sérhæfðum jakkafötum sem lágmarka agnamyndun og efni eru oft tvöföld-poka og hreinsuð áður en þau eru sett inn í hreinherbergið. Þar að auki eru aðstaðan búin háþróuðum vöktunarkerfum sem mæla stöðugt fjölda agna í lofti, hitastig, rakastig og mismunaþrýsting til að tryggja að hreinherbergið haldist innan tilskilinna breytu.

Hönnun hreinherbergisins sjálf er mikilvægur þáttur í því að viðhalda nauðsynlegum aðstæðum. Skipulagið er vandlega skipulagt til að lágmarka ókyrrð og hugsanlega mengunaruppsprettur. Loftlásar og fataherbergi eru staðalbúnaður og loftstreymi er venjulega frá hreinum til minna hreinum svæðum, sem kemur í veg fyrir flutning mengunarefna.

Einnig er verið að samþætta nýstárlegri tækni inn í hreinherbergishönnun til að bæta skilvirkni enn frekar og draga úr hættu á mengun. Til dæmis eru sumir framleiðendur að kanna notkun jónunarkerfa til að hlutleysa stöðuhleðslur sem geta dregið að agnir. Aðrir eru að skoða háþróað efni fyrir yfirborð hreinherbergja sem standast viðloðun agna og auðveldara er að þrífa.

Hörð leit hálfleiðaraiðnaðarins að smærri og öflugri flögum krefst stöðugrar umbóta í hreinherbergistækni. Eftir því sem oblátastærðir stækka og eiginleikum minnkar verður hlutverk HEPA og ULPA sía, ásamt yfirgripsmiklum hreinherbergisstjórnunaraðferðum, enn mikilvægara við framleiðslu á hálfleiðurum. Birgjar þessara mikilvægu íhluta og kerfa eru því nauðsynlegir samstarfsaðilar í áframhaldandi framþróun hálfleiðaratækni.